MAXXI5   X射线镀层测厚仪

产地：英国   品牌：牛津仪器    型号：MAXXI5

仪器原理及测量方法介绍：

● 1.荧光X射线微小面积镀层厚度测量仪的特征，满足标准ISO 3497-2000或GB T16921-2005金

    属覆盖层 镀层厚度的测量 X射线光谱法

• 可测量电镀、蒸镀、离子镀等各种金属镀层的厚度。
• 可通过CCD摄像机来观察及选择任意的微小面积以进行微小面积镀层厚度的测量，避免直接接触或破坏被测物。
• 薄膜FP法软件是标准配置，可同时对多层镀层及全金镀层厚度和成分进行测量。此外，适用于无铅焊锡的应用。 

● 2.测量原理   淮安供应牛津仪器X射线镀层测厚仪

如下图1所示，物质经X射线或粒子射线照射后，由于吸收多余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态，此物质必需将多余的能量释放出来，而此时是以荧光或光的形态被释放出来。荧光X射线镀层厚度测量或成分分析仪的原理就是测量这被释放出来的荧光的能量及强度，来进行定性和定量分析。

● 3.镀层厚度的测量方法   淮安供应牛津仪器X射线镀层测厚仪

镀层厚度的测量可分为标准曲线法和FP法(基本参数法)2种。标准曲线法是测量已知厚度或组成的标准样品，根据荧光X射线的能量和强度及相应镀层厚度的对应关系，来得到标准曲线。之后以此标准曲线来测量示知样品，以得到镀层厚度或组成比率。

FP法即是Fundamental Parameter Method的简称。即基本参数法。

1）标准曲线法：如下图所示，经X射线照射后，镀层和底材都会各自产生荧光X射线，我们必需对这2种荧光X射线能够辨别，方能进行镀层厚度的测量。也就说，镀层和底材所含有的元素必需是不*相同的，这是测量镀层厚度的先决条件。 

   镀层厚度测量时，可采用两种不同方法。一种是注重镀层中的元素所产生的荧光X射线强度，称为激发法。另一种是注重底材中的元素所产生的荧光X射线强度，称为吸收法。这两种方法的应用必需根据镀层和底材的不同组合来区分使用。

   镀层厚度测量时，测量已知厚度的标准样品而得到其厚度及产生的荧光X射线强度之间的关系，并做出标准曲线。然后再测量未知样品的荧光X射线强度，得到镀层厚度。但是需注意的是，荧光X射线法是从得到的荧光X射线的强度来求得单位面积的元素附着量，再除以元素的密度来得出其厚度。所以，对于含有杂质或多孔质蒸镀层等与纯物质不同密度的样品，需要进行修正。

2）FP法 - 基本参数方法

   采用FP法，只需要比标准曲线法更少的标准样品，就能简单迅速地得到测量的结果。如果样品均匀，所使用分析线的强度就可用样品的成分和基本参数的函数来表示。换句话说，从任意组成的样品所产生的分析线强度，都可以从这基本参数来计算出，所以我们称这种方法为基本参数法。

   FP法的zui大特征是可对块体样品进行成分分析到薄膜样品的成分与厚度同时进行分析与测量。MAXXI 5系列的仪器是对于块体样品可采用块体FP法，对于薄膜样品可采用薄膜FP分析法。

奔蓝科技昆山分公司   吴生：151九零一九4078